|
RFX5500射频溅射电源 |
|
直流电源(包括MDX系列、Finnacle系列、57ARC-LE系列)，广泛用于PVD工艺：-中、低频电源(包括PE系列、PD系列)广泛用于CVD和PVD工艺；-射频电源(包括RF系列、ID系列、AZE系列)广泛用于研究、开发等物理和化学沉积工艺：AE公司的RF电源包括RFG系列、RFX系列、RFXII系列共13个品种的射频溅射电源，被广泛地应用于科研半导体工艺，如RF溅射等离子刻蚀、沉积、活性离子刻蚀等。AE公司可提供功率从500W到l20W的全套MDX电源.1991年又推出了第二代新产品MDXII电源，可达到更高的功率，以满足欧洲制定的更高的、更严格的标准。在1992年又推出了KDX-L型低成本电 () |
|
|
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
|
|
